Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
von: Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler
De Gruyter Oldenbourg, 2008
ISBN: 9783486579291
Sprache: Deutsch
593 Seiten, Download: 6172 KB
Format: PDF, auch als Online-Lesen
Mehr zum Inhalt
Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
Vorwort | 6 | ||
Inhalt | 8 | ||
1 Einführung und Anwendungen | 12 | ||
1.1 Was ist Mikrosystemtechnik? | 12 | ||
1.2 Beispiele für Anwendungsgebiete | 17 | ||
1.3 Aufbau des Buches | 18 | ||
2 Mechanische Grundelemente | 20 | ||
2.1 Balken und Stäbe | 20 | ||
2.2 Platten und Membranen | 36 | ||
2.3 Vertiefungen | 42 | ||
2.4 MESA-Strukturen | 47 | ||
3 Fluidische Grundelemente | 50 | ||
3.1 Mikrokanäle | 50 | ||
3.2 Berechnung mikrofluidischer Strukturen | 55 | ||
3.3 Mikroventile und Mikropumpen | 63 | ||
4 Wandler | 76 | ||
4.1 Sensorische Wandler | 76 | ||
4.2 Mehrstufige sensorische Wandler | 116 | ||
4.3 Aktorische Wandler | 125 | ||
4.4 Generatorische Wandler | 156 | ||
5 Basis-/Substratmaterialien | 174 | ||
5.1 Silizium | 174 | ||
5.2 Glas, Quarzglas | 188 | ||
5.3 Keramiken und piezoelektrische Materialien | 193 | ||
5.4 Metalle | 218 | ||
5.5 Polymere | 224 | ||
5.6 Schichtwerkstoffe | 242 | ||
5.7 Dotierstoffe | 257 | ||
5.8 Lote | 261 | ||
6 Herstellung der Mikrokomponenten | 266 | ||
6.1 Verfahren zur Strukturübertragung | 266 | ||
6.2 Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften | 292 | ||
6.3 Plasmaprozesse | 314 | ||
6.4 Schichtabscheidungsverfahren | 352 | ||
6.5 Strukturierungsverfahren | 407 | ||
6.6 Alternative Mikrostrukturierungsverfahren | 456 | ||
6.7 Aufstellen des Flowcharts | 475 | ||
7 Konfektionierung der Mikrokomponenten | 482 | ||
7.1 Aufbautechnik auf Waferlevel | 482 | ||
7.2 Aufbautechnik auf Chiplevel | 493 | ||
7.3 Vereinzeln der Mikrostrukturen | 511 | ||
8 Mess- und Prüftechnik ( Qualitätsicherungsmanagement) | 516 | ||
8.1 Prozessmesstechnik | 516 | ||
8.2 Charakterisierung von Schichtstrukturen | 526 | ||
8.3 Charakterisierung von Mikrostrukturen | 527 | ||
8.4 Kontrolle der Funktion mikrostrukturierter Bauelemente | 531 | ||
9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente | 534 | ||
9.1 Allgemeiner Entwurfsprozess | 534 | ||
9.2 Umsetzung des Wirkprinzips | 553 | ||
9.3 Materialauswahl | 565 | ||
Verzeichnis der Schlüsselbegriffe | 570 |