Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

 

 

 

von: Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler

De Gruyter Oldenbourg, 2008

ISBN: 9783486579291

Sprache: Deutsch

593 Seiten, Download: 6172 KB

 
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Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen



  Vorwort 6  
  Inhalt 8  
  1 Einführung und Anwendungen 12  
     1.1 Was ist Mikrosystemtechnik? 12  
     1.2 Beispiele für Anwendungsgebiete 17  
     1.3 Aufbau des Buches 18  
  2 Mechanische Grundelemente 20  
     2.1 Balken und Stäbe 20  
     2.2 Platten und Membranen 36  
     2.3 Vertiefungen 42  
     2.4 MESA-Strukturen 47  
  3 Fluidische Grundelemente 50  
     3.1 Mikrokanäle 50  
     3.2 Berechnung mikrofluidischer Strukturen 55  
     3.3 Mikroventile und Mikropumpen 63  
  4 Wandler 76  
     4.1 Sensorische Wandler 76  
     4.2 Mehrstufige sensorische Wandler 116  
     4.3 Aktorische Wandler 125  
     4.4 Generatorische Wandler 156  
  5 Basis-/Substratmaterialien 174  
     5.1 Silizium 174  
     5.2 Glas, Quarzglas 188  
     5.3 Keramiken und piezoelektrische Materialien 193  
     5.4 Metalle 218  
     5.5 Polymere 224  
     5.6 Schichtwerkstoffe 242  
     5.7 Dotierstoffe 257  
     5.8 Lote 261  
  6 Herstellung der Mikrokomponenten 266  
     6.1 Verfahren zur Strukturübertragung 266  
     6.2 Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften 292  
     6.3 Plasmaprozesse 314  
     6.4 Schichtabscheidungsverfahren 352  
     6.5 Strukturierungsverfahren 407  
     6.6 Alternative Mikrostrukturierungsverfahren 456  
     6.7 Aufstellen des Flowcharts 475  
  7 Konfektionierung der Mikrokomponenten 482  
     7.1 Aufbautechnik auf Waferlevel 482  
     7.2 Aufbautechnik auf Chiplevel 493  
     7.3 Vereinzeln der Mikrostrukturen 511  
  8 Mess- und Prüftechnik ( Qualitätsicherungsmanagement) 516  
     8.1 Prozessmesstechnik 516  
     8.2 Charakterisierung von Schichtstrukturen 526  
     8.3 Charakterisierung von Mikrostrukturen 527  
     8.4 Kontrolle der Funktion mikrostrukturierter Bauelemente 531  
  9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente 534  
     9.1 Allgemeiner Entwurfsprozess 534  
     9.2 Umsetzung des Wirkprinzips 553  
     9.3 Materialauswahl 565  
  Verzeichnis der Schlüsselbegriffe 570  

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