Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

 

 

 

von: Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler

De Gruyter Oldenbourg, 2008

ISBN: 9783486579291

Sprache: Deutsch

593 Seiten, Download: 6172 KB

 
Format:  PDF, auch als Online-Lesen

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Typ: A (einfacher Zugriff)

 

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Mehr zum Inhalt

Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen



  Vorwort 6  
  Inhalt 8  
  1 Einführung und Anwendungen 12  
  2 Mechanische Grundelemente 20  
  3 Fluidische Grundelemente 50  
  4 Wandler 76  
  5 Basis-/Substratmaterialien 174  
  6 Herstellung der Mikrokomponenten 266  
  7 Konfektionierung der Mikrokomponenten 482  
  8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsmangenment) 516  
  9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente 534  
  Verzeichnis der Schlüsselbegriffe 570  

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